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德國耶拿半導體行業TOC應用解決方案(二):濕化學品純度控制
在半導體制造領域,任何微小污染都可能導致產品良率與性能的顯著下降。隨著集成電路技術不斷升級,超凈高純試劑的標準也日益嚴格。每一代微細加工技術都必須匹配相應純度的化學品,這對質量控制提出了更高要求。

半導體制造中的TOC控制要求
總有機碳(TOC)分析以其高靈敏度、快速分析和強抗干擾能力,已成為高純濕電子化學品檢測的關鍵手段,直接關系到電子產品的最終質量和市場競爭力。
濕電子化學品的質量監控
酸類:硫酸、鹽酸、磷酸、硼酸等
堿類:氨水、氫氧化鈉等
其他化學品:雙氧水等
01
|挑戰一:高純試劑直接進樣難題
電子級試劑純度極高,但待測TOC含量極低,傳統稀釋方法會導致TOC含量與空白無異,無法準確定量。
以雙氧水為例,分解過程中產生的大量氧氣和高溫氣化水分會導致氣流波動,嚴重干擾測定結果。
耶拿突破:
獨家VITA技術實時補償氣體流量波動,支持高達70%濃度雙氧水直接進樣分析。配合高聚焦NDIR檢測器,一次進樣即可同步分析TOC和TN參數。
驗證案例:30%/70%雙氧水測定
70%雙氧水RSD僅0.5%,2.5ppm標液回收率達103%,證實儀器氧化性能優異,有效消除氣流波動影響。

02
|挑戰二:酸堿性樣品腐蝕問題
酸堿性樣品直接進樣會腐蝕定量閥密封圈和內部器械,導致進樣體積不準,設備損壞加速。
耶拿創新:
采用超純水替代樣品進入定量閥,在保證進樣精度的同時,避免儀器損耗,支持長時間分析酸堿性及含顆粒的高鹽樣品。
驗證案例:電子級硫酸測定
樣品加標回收率96%,TOC標樣回收率97%,證明儀器對高純硫酸基體耐受性良好。
驗證案例:電子級氨水測定
樣品RSD均小于1%,0.1ppm樣品加標回收率99%,標樣回收率102%,驗證了低TOC氨水測定的準確性。

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|挑戰三:標準曲線制備繁瑣
低TOC濃度樣品測定時,標準曲線配制困難,實驗室難以獲得TOC為零的稀釋液,配制過程易引入空氣中CO₂。
耶拿方案:
multi N/C總有機碳分析儀具備自動繪制標準曲線功能,無需人工配制,線性可達0.999以上。校準周期長達一年,大幅節省人力和時間成本。

結語
德國耶拿multi N/C總有機碳分析儀憑借直接進樣、卓越的酸堿耐受性和智能校準技術,為高純濕電子化學品提供了可靠的TOC測定方案,助力企業精準監控化學品純度,確保生產效率和產品質量,提升市場競爭力。

END
上海恒奇儀器儀表有限公司,作為耶拿分析儀器的授權代理商,全心全意為您提供更多定制化的服務。
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